真空鍍膜前清洗總出虛焊、針孔？20余年經(jīng)驗(yàn)廠家，用非標(biāo)大型機(jī)把良率拉回來

在真空鍍膜車間里，有一類問題最讓生產(chǎn)經(jīng)理頭疼——良率始終卡在一個(gè)瓶頸，上不去也下不來。一批工件進(jìn)爐，鍍膜完成后一檢測，虛焊、針孔、起皮、沙眼……表面看是涂層本身的問題，可鍍膜室的真空度、靶材純度、氣體流量一項(xiàng)項(xiàng)排查下來，都沒毛病。反復(fù)調(diào)整工藝參數(shù)，良率依然在低水平線上起伏。 然而，問題的根源可能根本不在鍍膜室內(nèi)部。PVD（物理氣相沉積）鍍膜的質(zhì)量，七分靠基底，三分靠鍍膜?；妆砻娴那鍧嵍龋攀菦Q定涂層成敗的“地基”。而這個(gè)地基打得好不好，關(guān)鍵就看真空鍍膜前的清洗環(huán)節(jié)有沒有做到位。 污物不除，鍍層不牢：虛焊與針孔的“幕后推手” 真空鍍膜是在高真空環(huán)境下將靶材原子氣化后沉積到工件表面，形成微米甚至…